¿ì¸®³ª¶ó Áß¼Ò±â¾÷ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ±â¼úÀÌ ±¹Á¦Àü±â±â¼úÀ§¿øȸ(IEC)¿¡ ½Å±Ô ±¹Á¦Ç¥ÁؾÈ(NP, New Proposal)À¸·Î Á¦¾ÈµÇ¾ú´Ù.
»ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ ±¹°¡±â¼úÇ¥ÁØ¿ø ÁøÁ¾¿í ¿øÀåÀº 15ÀÏ,÷´Ü»ê¾÷ÀÇ ±¹Á¦ Ç¥ÁØÈ Áö¿øÀ» À§ÇÑ ÇöÀå Çຸ·Î ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ±â¾÷ À̼Ö(E-SOL)À» ¹æ¹®ÇÏ¿© ±¹Á¦Ç¥ÁØÈ ÃßÁøÇöȲÀ» ûÃëÇÏ°í Áö¿ø¹æ¾ÈÀ» ³íÀÇÇß´Ù.
À̼ÖÀº ¹ÝµµÃ¼ ±ØÀڿܼ±(EUV) °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¸¶½ºÅ© °èÃø·°Ë»ç Àåºñ ¹× Æ縮Ŭ(Pellicle, º¸È£¹Ú¸·)ÀÇ Åõ°úµµ °Ë»ç Àåºñ µîÀ» Á¦ÀÛ·ÆǸÅÇÏ´Â EUV Àåºñ Á¦Á¶±â¾÷ÀÌ´Ù.
EUV °øÁ¤Àº Ãʹ̼¼ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ EUV ±¤(ÎÃ)ÀÌ ¹Ì¼¼È¸·Î°¡ ±×·ÁÁø ¸¶½ºÅ©¸¦ ÅëÇØ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ȸ·Î¸¦ »õ±â´Â ¹æ½ÄÀÌ´Ù.
Æ縮ŬÀº ¸¶½ºÅ© À§¿¡ ¾º¿öÁ® ¹Ì¼¼¸ÕÁö µîÀÇ ¿À¿°À¸·ÎºÎÅÍ ¸¶½ºÅ©¸¦ º¸È£ÇÏ´Â ¹Ú¸·À¸·Î, EUV °øÁ¤¿¡¼ Æ縮ŬÀÇ EUV Åõ°úµµ´Â Ãʹ̼¼ ¹ÝµµÃ¼ ¼öÀ²¿¡ Å« ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ£´Ù.(ºÙÀÓ3 ÂüÁ¶)
À̼ÖÀº »ê¾÷ºÎ ¼ÒÀçºÎÇ°°³¹ß±â¼ú»ç¾÷À» ¼öÇàÇÏ¿© Æ縮Ŭ Åõ°úµµ °Ë»çÀåºñ¸¦ °³¹ßÇÏ°í µ¿ Àåºñ¸¦ È°¿ëÇÑ Æ縮ŬÀÇ EUV Åõ°úµµ °Ë»ç¹æ¹ýÀ» IEC¿¡ ½Å±Ô ±¹Á¦Ç¥ÁؾÈÀ¸·Î Á¦¾ÈÇß´Ù.
À̹ø Ç¥ÁؾÈÀÌ È¸¿ø±¹ÀÇ ÅõÇ¥¸¦ ÅëÇØ ½Å±Ô°³¹ß Ç׸ñÀ¸·Î äÅõǰí ÇâÈÄ ±¹Á¦Ç¥ÁØÀ¸·Î ¹ß°£µÈ´Ù¸é, Ç¥ÁØÈµÈ Æ縮Ŭ Åõ°úµµ °Ë»ç¹æ¹ý Á¤¸³À¸·Î Æ縮Ŭ Ç°Áú Çâ»ó¿¡ ±â¿©ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
À̳¯ ±¹Á¦Ç¥ÁØÈ Áö¿ø¹æ¾ÈÀ» ³íÀÇÇÏ´Â °£´ãȸ ÀÚ¸®¿¡¼ ÀÌ¼Ö Ãֽ¹ΠÀü¹«´Â “±¹Á¦Ç¥ÁØ¾È Á¦¾ÈÀ¸·Î ±×µ¿¾ÈÀÇ ±â¼ú°³¹ß ¼º°ú°¡ ´õ¿í źźÇØÁö°í ÀÖ´Ù”¸é¼, “À̹ø Ç¥ÁؾÈÀÌ Ã¤ÅÃµÈ´Ù¸é ¹ÝµµÃ¼ ÃÖ÷´Ü °øÁ¤(EUV)¿¡¼ ±¹»ê ¼³ºñ°¡ ½ÃÀåÀ» ¼±Á¡ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÁÁÀº ±âȸ°¡ µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù”°í ¸»Çß´Ù.
ÀÌ¿¡ ÁøÁ¾¿í ±¹Ç¥¿øÀåÀº“¿ì¸®³ª¶ó°¡ ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ºÐ¾ß·Îµµ ±¹Á¦Ç¥ÁØÀ» È®´ëÇØ ³ª°¡´Â °ÍÀº °í¹«ÀûÀÌ´Ù”¸é¼,“Á¦¾ÈµÈ ½Å±ÔÇ¥ÁؾÈÀÌ ±¹Á¦Ç¥ÁØÀ¸·Î ÃÖÁ¾ ¹ß°£µÉ ¼ö ÀÖµµ·Ï ±â¾÷°ú Àü¹®°¡ÀÇ ±¹Á¦Ç¥ÁØÈ È°µ¿À» Àû±Ø Áö¿øÇÏ°Ú´Ù”°í ¹àÇû´Ù.
ÀÌ¿µ¹è ±âÀÚ webmaster@jybtv.kr
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ÀÚÀ¯¹æ¼Û, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>